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去離子純化水設備又稱為超純水設備或高純水設備，既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于10～18.3MΩ*cm極限值。 超純水,是一般純水設備很難達到的程度，通常采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm
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